Dựa trên nguyên tắc ghi đo phổ theo khối lượng (m/z), ICP-MS cho phép phân tích hơn 70 nguyên tố từ Li đến U và có thể xác định đồng thời chúng với độ nhạy và độ chọn lọc rất cao (giới hạn phát hiện từ ppb-ppt đối với tất cả các nguyên tố); khả năng phân tích bán định lượng rất mạnh do không cần phải dùng mẫu chuẩn mà vẫn đạt độ chính xác cao; có thể phân tích các đồng vị và tỷ lệ của chúng. Ngoài ra ICP-MS còn được sử dụng như là một detector cho LC, CE, GC... Ngày nay ICP-MS được sử dụng rất rộng rãi trong phân tích thuộc nhiều ngành và lĩnh vực khác nhau như: quá trình sản xuất nhiên liệu hạt nhân, xác định đồng vị phóng xạ, nước làm lạnh sơ cấp trong ngành hạt nhân (chiếm tỷ trọng 5%); phân tích nước uống, nước biển, nước bề mặt, đất, bùn, đất hoang, phân tích định dạng Hg, As, Pb và Sn trong nghiên cứu và bảo vệ môi trường (48%); quá trình hoá học, chất nhiễm bẩn trong Si Wafers trong công nghiệp sản xuất chất bán dẫn (33%); máu, tóc, huyết thanh, nước tiểu, mô trong  y tế  (6%); đất, đá, trầm tích, nghiên cứu đồng vị phóng xạ trong địa chất ( 2%); hoá chất (4%); dấu vết đạn, đặc trưng vật liệu, nguồn gốc, chất độc trong khoa học hình sự (1%) và phân tích thực phẩm (1%)...
Trên thiết bị ICP-MS đã phân tích hàm lượng vết hơn 30 nguyên tố trong gần 200 mẫu bụi hô hấp phục vụ nghiên cứu và đánh giá môi trường trong khuôn khổ dự án hợp tác giữa AIT với  trường Đại học Khoa học Tự nhiên và Viện Khoa học và Công nghệ Môi trường (ĐHBK HN) “Nâng cao chất lượng môi trường không khí tại Việt Nam”. Các nguyên tố đã được phân tích trong mẫu bụi hô hấp gồm có Na, Mg, Sc, V, Co, Ni, Cu, Ga, Ge, As, Se, Rb, Sr, Y, Zr, Nb, Mo, Ag, Cd, Sn, Sb, Te, I, Cs, Ba, La, Ce, W, Hg, Tl, Pb, Bi, Th, U và có hàm lượng từ ppb đến ppt. Đặc biệt là hiện nay,Trung tâm PT&MT đang hợp tác với công ty liên doanh nước khoáng LAVIE trong việc kiểm tra chất lượng hàng ngày các sản phẩm nước khoáng đóng chai LAVIE trên thiết bị ICP-MS. Các kết quả phân tích hàm lượng vết các kim loại nặng trong đó có Mn  đảm bảo độ chính xác, tin cậy và được trả kịp thời đã giúp nhà sản xuất có được những sản phẩm đưa ra thị trường đảm bảo đáp ứng các yêu cầu về tiêu chuẩn chất lượng và được phía đối tác tin tưởng và đánh giá rất cao. Ngoài các kết quả đạt được nói trên, thiết bị ICP-MS còn được khai thác sử dụng có hiệu quả trong phân tích định tính và định lượng nhiều đối tượng mẫu theo yêu cầu của các nhà nghiên cứu và công nghệ như: quặng uran, trầm tích biển, nguyên liệu và các sản phẩm kẽm, gốm sứ; vật liệu mới v.v. Đặc biệt là phân tích lượng vết các nguyên tố đất hiếm trong màng mỏng polimer quang học dùng trong nông nghiệp.

KS. Nguyễn Xuân Chiến
Viện Công nghệ xạ hiếm

(Thông tin KHCNHN số 1, 2004)